晶圆视觉检测的方案,检测内容主要为破损,裂粒,气孔,镍层不良及尺寸。
一:检测内容及要求
检测工件面积:
长1.44mm*宽1.43mm*高1.65mm的样件的外观、尺寸检测
检测内容:破损,裂粒,气孔,镍层不良
底部正光检测外观
侧面正光检测外观
顶部正光检测外观
注明:以上检测项目,均需要在影像下清晰可见才能检测
检测效率:每分钟检测数量250-350件(根据样件送料速度)。
分工段进行:按照检测内容细分检测步骤.
底部正光检测方式、底部检测良品分析图:OK
底部正光检测方式 底部检测不良品分析图(裂粒):NG
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