视觉定位系统在TFT玻璃基板加工的应用

　　　　　　　　　　　　　　视觉定位系统在TFT玻璃基板加工的应用

研磨机的视觉定位系统是一种基于工业CCD摄像头的实时图像处理系统，该系统是以图像处理技术为基础，融合了光电子学技术、光学技术、计算机技术等为一体的综合系统。本文图像处理器以日本通彩YV250视频处理器为例进行说明。本系统的主要工作原理是通过CCD相机迅速抓取玻璃基板的边部图像，利用数字图像处理技术将获取图像视频信号转化为二进制的数字化信号，并通过特定的机器视觉算法将这些数据计算后把需要的基板边部坐标数据显示在人机交互界面上，进而通过控制系统进行纠偏动作以及确定研磨进给伺服电机的进给量。

YV250图像处理系统借助于工业CCD高清摄像头进行图像采集，基于RGB三原真彩色进行处理，包括图像处理器、100VAC电源模块、安全罩。YV250将获取的图像信息与内部标定的灰度参考图形进行匹配。在执行匹配程序时，系统自动搜索输入的图像区域内的所有像素灰度等级，并找出与标定参考图形相一致的灰度值像素点，匹配度超出临界阈值的点即匹配坐标点。坐标点的搜索完成后需经过特定的公式计算出对应的位置坐标，并不断地用于伺服程序运算，就很容易地得到接受数据的伺服轴当前坐标值，并完成当前工位产品的定位。

从日常的生产维护过程中发现，利用YV250图像处理器配合CCD相机构建的定位系统，在TFT基板加工研磨工序中发挥了极高的应用价值，定位补正精度高，使研磨后的玻璃基板前后边缘尺寸误差控制在0.1mm以内，且构建成本及维护成本低。