深圳海洲测控智能设备有限公司

设为首页 | 收藏本站
     公司主营:激光自动化设备、激光打标机、视觉检测设备、工厂自动化设备、电气机电配件
15920023986
咨询服务热线
--
晶圆检测210
分享到:

晶圆检测210

 
产品详情

晶圆缺陷检验

常见问题

半导体晶圆包含多个层,而每一层都要执行一个复杂且精确的流程:沉积材料、涂抗蚀剂、光刻、蚀刻、离子注入,最后除去抗蚀剂。但在涂另一层前,必须先检测新蚀刻和注入的层是否有缺陷。因为晶圆层很可能会有划痕、旋转缺陷、曝光问题、颗粒污染、热点、晶圆边缘缺陷,以及影响芯片最终性能的各种其他缺陷。

缺陷范围非常大,且可能出现在晶圆上的任何地方。如涂层中的缺陷可以表现为不可预测的颜色变化,检测则须在之前沉积层的复杂背景下进行检测。而传统机器视觉一方面无法通过编程探测范围这么大的缺陷,甚至即使是探测编程的缺陷,多层背景也会使其变得不可靠。

在层沉积后未及时探测到缺陷,则此类缺陷只能在最终测试时探测到,这就浪费了宝贵的资源。更糟糕的是,最低水平的缺陷可能根本就检测不出来。即使它们通过了最终的电子测试,未探测到的缺陷也会降低使用可靠性,导致过早出现故障。


微信截图_20220106151921.png

通常人工检测只能在晶圆的一个统计子集上进行,速度极慢,还会导致额外的晶圆处理,引入新的污染源和损害来源。使用深度学习软件可在更大一部分晶圆上执行自动缺陷筛选。它还可用于两级检测系统,在该系统中,它可以识别出模糊的情况,并将这些情况发送到离线手动检测站进行进一步检查。


联系我们

    深圳海洲智能设备有限公司

地址:  深圳市宝安区航城大道华丰机器人产业园708号

电话:    0755- 27908031           15920023986 (微信)

简介:   专业自动化设备开发制造;智能工厂、自动化物流仓储设备、机器视觉检测系统设备、工业机器人集成;

联系我们
  • 1
    海洲自动化设备.机器视觉检测.激光自动化设备

         海洲智能

地址:  深圳市宝安区航城大道华丰机器人产业园708号

电话:    0755- 27908031    15920023986

简介:   专业自动化设备开发制造;机器视觉检测系统、视觉机器人